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Online Ressourcen (ohne Zeitschr.)
Titel: 
Sonst. Personen: 
Ausgabe: 
[Elektronische Ressource]
Sprache/n: 
Englisch
Veröffentlichungsangabe: 
2003
Umfang: 
Online-Ressource, Text + Image
Art des Inhalts: 
Anmerkung: 
Sprache der Zusammenfassung: Deutsch
IMD-Felder maschinell generiert
Hochschulschrift: 
Halle, Univ., Diss., 2003
Identifier: 
URN: urn:nbn:de:gbv:3-000005814
Schlagwörter: 
Sachgebiete: 
Inhalt: 
Waferbonden, Helium/Wasserstoffimplantation, Blasenbildung, Abblättern, GaAs, komplexen Oxiden
wafer bonding, Helium/Hydrogen implantation, blistering, exfoliation, GaAs, complex oxides
Zsfassung in dt. Sprache
 
 
Elektron. Referenz: 
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